自中國國務(wù)院印發(fā)《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》以來，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展上升為國家戰(zhàn)略，為推動其發(fā)展，國家專門設(shè)立了中國集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，在龐大資金與相關(guān)配套政策扶植下，當前半導(dǎo)體行業(yè)正在興起新一波的建設(shè)熱潮。預(yù)計 2017-2020 年間全球?qū)⑼懂a(chǎn)62 座半導(dǎo)體晶圓廠，其中 26 座設(shè)于中國大陸， 占全球總數(shù) 42%。

荏原在上世紀70年代末日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中就針對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的工藝流程進行深入研究，并與日立、 三菱、富士通、東芝、日本電氣等公司開展深入合作，對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中純水制造、純水輸送、廢水處理工藝中提供可靠、安全的泵類產(chǎn)品，并在空調(diào)系統(tǒng)中提供高效率、運行穩(wěn)定的泵類產(chǎn)品；發(fā)展至今荏原是可以在半導(dǎo)體行業(yè)中提供完整、可靠、高效的泵類產(chǎn)品解決方案的完美供應(yīng)商。

1

公用動力系統(tǒng)

為應(yīng)對能源挑戰(zhàn)，提高資源利用效率，荏原創(chuàng)新發(fā)布新一代高效CB臥式雙吸泵。新一代雙吸泵具有效率高，成本低，汽蝕性能卓越，并且維護簡單等特點。

在已發(fā)售的 GS 型、GSS 型基礎(chǔ)上，荏原充分運用在標準泵事業(yè)中積累的標準化和量產(chǎn)技術(shù)以及在定制泵事業(yè)中積累的工程技術(shù)，開發(fā)出了符合化工泵國際標準 ISO2858、ISO5199的 GSO 型新產(chǎn)品。該產(chǎn)品將作為涵蓋清水以及化學(xué)溶液等各種介質(zhì)的 GS 系列全球核心產(chǎn)品，具有以下特點：

• 新開發(fā)的葉輪實現(xiàn)了高效運行

• 符合國際標準 ISO2858 和 ISO5199

• 牢固的結(jié)構(gòu)提高了耐久性

• 降低了產(chǎn)品成本，縮短了交期

• 降低了維護成本

2

超純水制造和輸送工藝

我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級。高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89 ，高純水的電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。電阻分別對應(yīng)為：18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

超純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：（1）微電子工藝對水質(zhì)的要求；（2）制水工藝的水平；（3）檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。

超純水在電子元器件生產(chǎn)中的重要作用日益突出，超純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一，水質(zhì)要求也是越來越高。在電子元器件的生產(chǎn)過程當中，超純水主要用作清洗用水以及用來配制各種溶液、漿料，不同的電子元器件在生產(chǎn)過程中純水的用途及對水質(zhì)的要求也略有不同。因此電子行業(yè)的生產(chǎn)用水離不開超純水設(shè)備，這也是電子行業(yè)為什么用超純水設(shè)備的原因。

荏原FSSC/GSO/GSS/產(chǎn)品不僅結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，而且完美解決超純水潔凈度和機封耐高溫情況。

潔凈度：超純水生產(chǎn)制備工藝復(fù)雜、制備成本較高且水質(zhì)對芯片生產(chǎn)的良品率至關(guān)重要，為了杜絕水泵生產(chǎn)過程過流部件可能存在的污染荏原純水環(huán)節(jié)應(yīng)用水泵在性能試驗完畢后，會對水泵拆解、各部品禁油（脫脂）處理清潔水泵。

機封耐高溫：超純水又稱為UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水，除了水分子外幾乎沒有雜質(zhì)，水質(zhì)很澀，對于機封的潤滑極為不利，沒有了良好的潤滑機封的摩擦面溫度會升高、變軟，為了解決機封耐磨、耐高溫情況荏原采用WC/WC機械密封，這種機封具有足夠的強度、剛度、耐磨性和導(dǎo)熱性。

3

晶圓清洗

晶圓處理制程是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中技術(shù)最復(fù)雜且資金投入最多的環(huán)節(jié)，而晶圓清洗在晶圓處理制程中起到至關(guān)重要的作用。

由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當微細，因此制造過程中，如果遭到塵粒、金屬的污染，很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞，形成短路或斷路等，導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。

因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外，集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。另外，清洗劑因PH值不同對泵的要求也有差異，荏原豐富的泵產(chǎn)品既可滿足純水的傳輸要求，也可應(yīng)對一般酸堿性介質(zhì)。

4

廢水處理

半導(dǎo)體的制造工廠包含上百個生產(chǎn)工藝，其產(chǎn)生的污水種類較多，對泵的耐腐蝕性有很高的要求。從一般性酸堿污水到研磨廢水，荏原均有滿足客戶需求的高品質(zhì)產(chǎn)品。荏原除了耐腐蝕性金屬泵之外，其領(lǐng)先的樹脂水泵在應(yīng)對強酸強堿類介質(zhì)方面擁有優(yōu)異表現(xiàn)。

當前，荏原機械已經(jīng)成功助力多家國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)巨頭的生產(chǎn)建設(shè)，在行業(yè)中具有很高的聲譽及競爭力。

未來，荏原機械將緊隨中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展步伐，從整個產(chǎn)業(yè)鏈中尋求合作機會，同時不斷推出“穩(wěn)定、高效、長壽命”的產(chǎn)品，為中國半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展貢獻一份力量。

5

相關(guān)榮譽

2009年全球最大的芯片代工企業(yè)臺積電高級副總裁及CIO Stephen Tso授予荏原最優(yōu)秀產(chǎn)品獎。

2019年美國英特爾公司授予荏原公司Supplier Achievement Award，簡稱：SAA

該獎?wù)率怯⑻貭柟臼跈?quán)在其重視領(lǐng)域取得卓越業(yè)績的供應(yīng)商企業(yè)，以表彰該企業(yè)在業(yè)界發(fā)揮的重要領(lǐng)導(dǎo)作用